Puesto que mi tesis doctoral versará sobre los microsistemas (también
llamados sistemas microelectromecánicos, o MEMS), he colocado esta página con
información sobre los mismos.
Documentos
Sistema de unidades μMKSV. Este
es un sistema de unidades coherente basado en el SI, y que tiene como unidad
base de longitud la micra. Otras unidades básicas son el kilogramo, el
segundo, y el voltio. Es muy útil para programas de simulación de
microsistemas, ya que evita trabajar con múltiplos y submúltiplos muy
alejados de la unidad básica. Por ejemplo, yo lo utilizo con ANSYS. En este
documento se reflejan las unidades correspondientes a todas las magnitudes
físicas (mecánicas, eléctricas y magnéticas) necesarias, y los factores de
conversión. Formato PDF (44 K).
Fabricación de MEMS
en sala blanca. Presentación de diapositivas sobre los materiales y
procesos que hay en una sala blanca orientada a la fabricación de
microsistemas. Se describen cada uno de los procesos de fabricación, así
como el equipamiento necesario, explicando los parámetros de funcionamiento
de cada uno. Formato PDF (292 K).
Procesos de
fabricación. Introducción a los procesos de fabricación de
microsistemas. Cubre la preparación de las obleas, la fotolitografía, los
grabados húmedo y seco, las deposiciones y oxidaciones, el LIGA, la unión
anódica y por fusión, y los test y medidas. Formato PDF (3.4Mb).
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